文献
J-GLOBAL ID：200902209519728182   整理番号：05A0958388

マイクロ容量式傾斜センサの開発

Development of Micro Capacitive Inclination Sensor
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著者 (4件)：
UEDA Hiroyasu

UEDA Hiroyasu について

(TOKAI RIKA CO., LTD., Aichi, JPN)

TOKAI RIKA CO., LTD., Aichi, JPN について

, 
UENO Hiroshi

UENO Hiroshi について

(TOKAI RIKA CO., LTD., Aichi, JPN)

TOKAI RIKA CO., LTD., Aichi, JPN について

, 
ITOIGAWA Koichi

ITOIGAWA Koichi について

(TOKAI RIKA CO., LTD., Aichi, JPN)

TOKAI RIKA CO., LTD., Aichi, JPN について

, 
HATTORI Tadashi

HATTORI Tadashi について

(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)

Univ. Hyogo, Hyogo, JPN について


資料名：
Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems  (Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems)

Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems について


巻： 22nd  ページ： 207-211  発行年： 2005年10月20日 
JST資料番号： X0768A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
マイクロマシニング手法で線形アナログ出力をもつ傾斜センサを開...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*傾斜計

傾斜計 について

,...
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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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傾斜センサ

傾斜センサ について

, 
開発

開発 について


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