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J-GLOBAL ID：200902209567943028   整理番号：03A0513135

ポジティブコピー法による超薄膜立体構造の形状設計(1)微細パターンを鋳型とする立体的チタニア超薄膜の作成

著者 (2件)： 藤川茂紀 (理研フロンティア) ,  国武豊喜 (理研フロンティア)
資料名： 高分子学会予稿集  (Polymer Preprints, Japan)
巻： 52  号： 3  ページ： 471  発行年： 2003年05月08日 
JST資料番号： Z0703B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *酸化チタン ,...

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (8件)： コピー ,  超薄膜 ,  立体構造 ,  形状設計 ,  微細パターン ,  鋳型 ,  立体 ,  チタニア