異なる放電機構を考慮した短-ギャップESDのモデリング

BOENISCH S; KALKNER W; POMMERENKE D

文献

J-GLOBAL ID：200902209818627260 整理番号：03A0615737

異なる放電機構を考慮した短-ギャップESDのモデリング

Modeling of Short-Gap ESD Under Consideration of Different Discharge Mechanisms

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資料名：
巻： 31 号： 4,Pt.2 ページ： 736-744 発行年： 2003年08月
JST資料番号： D0036B ISSN： 0093-3813 CODEN： ITPSBD 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

空気中での短ギャップ静電放電(ESD)のシミュレーションでは...

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気体放電

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