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J-GLOBAL ID：200902209943301466   整理番号：09A0882422

固体熱物性 パルス加熱サーモリフレクタンス法を用いた薄膜熱物性標準の整備

著者 (3件)： 竹歳尚之 (産業技術総合研 計測標準研究部門) ,  八木貴志 (産業技術総合研 計測標準研究部門) ,  馬場哲也 (産業技術総合研 計測標準研究部門)
資料名： 計測標準と計量管理  (Measurement Standards and Metrology Management)
巻： 59  号： 2  ページ： 36-41  発行年： 2009年08月20日 
JST資料番号： F0771A  ISSN： 1880-1420  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 相変化メモリ(次世代不揮発性メモリ)は,記録層の熱的性質が記録密度や記録度に密接に係わっている。産業技術総合研究所計測標準研究部門(NMIJ/AIST)では,薄膜の膜厚方向の熱拡散率を定量的に測定すべく,パルス加熱サーモリフレクタンス法による測定手法を開発した。また当技術を用いて金属薄膜の熱拡散時間を校正するサービスを2006年3月より開始した。本稿ではパルス加熱サーモリフレクタンス法につき概説し,標準供給,標準整備への取組内容を述べた。国家標準からユーザまでの計測システムの一体的整備は,高信頼性熱設計の実現と日本の先端産業における開発競争力やモノ作りの支援効果が期待できる。

シソーラス用語： 物理的性質 ,  熱特性 ,  *計量制度 ,  計量管理 ,  トレーサビリティ ,  *標準器 ,  キャリブレーション ,  *温度伝導率 ,  不揮発性メモリ ,  金属薄膜 ,  *精密測定 ,  レーザ照射 ,  PRAM【メモリ】 ,  パルス加熱 ,  熱物性
準シソーラス用語： 相変化メモリ ,  熱拡散率

分類 (2件)： その他の熱的変量の計測法・機器  (AD06040R) ,  金属の比熱・熱伝導  (BL05022V)

引用文献 (18件)：

• http://www.meti.go.jp/ic/policy/gijutsu-kakushin/kenku_kaihatu/str2009download.html# 8例えば経済産業省技術戦略マップ2009の「融合戦略領域」内、「計量・計測システム分野」参照
• 現在は産総研において熱物性データベースが公開されており、薄膜熱物性のコンテンツ整備が継続的に行われている。例えば、馬場哲也、山下雄一郎、熱物性データベースの開発、計測標準と計量管理」第59巻第2号 (2009) 参照.
• T.Baba and A.Ono: Meas. Sci. Technol.12,(2001)2046.
• 阿子島めぐみ、固体材料の熱拡散率標準の開発、「計測標準と計量管理」第59巻第2号 (2009).
• C. A. Paddock and G. L. Eesley: J. Appi. Phys.60(1986)285.

タイトルに関連する用語 (7件)： 固体 ,  熱物性 ,  パルス加熱 ,  サーモリフレクタンス法 ,  薄膜 ,  標準 ,  整備