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J-GLOBAL ID：200902209997645438   整理番号：05A0917582

液浸対応フォトレジスト & マスク《野村マイクロ・サイエンスの小型全蒸発残さ計》旧型の1/2のサイズと価格を実現 レジスト成分の溶出監視にも有効

著者 (2件)： 柳基典 (野村マイクロ・サイエンス) ,  川本安孝 (ナムテック)
資料名： Electronic Journal  (Electronic Journal)
号： 136  ページ： 94-95  発行年： 2005年07月15日 
JST資料番号： L5481A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 低濃度の蒸発残さを連続的にモニタリングする標記の残さ計「ハイ...

シソーラス用語： 露光 ,...
準シソーラス用語： 液浸露光

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (9件)： 液浸 ,  フォトレジスト ,  マスク ,  蒸発 ,  残さ ,  サイズ ,  価格 ,  レジスト ,  溶出