スパッタした酸化けい素コーティングによる重合体の酸化的分解抑制

OKA Toshitaka; HAMA Yoshimasa; ITO Kenji; KOBAYASHI Yoshinori

文献

J-GLOBAL ID：200902210324286760 整理番号：05A0656104

スパッタした酸化けい素コーティングによる重合体の酸化的分解抑制

Suppression of the oxidative degradation of polymer by sputtered silicon oxide coating

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著者 (4件)：

OKA Toshitaka

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資料名：

Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)

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巻： 236 号： 1-4 ページ： 420-424 発行年： 2005年07月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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