文献

J-GLOBAL ID：200902210621717053   整理番号：07A0024101

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)薄膜のXPS解析

著者 (6件)： 元光邦彦 (広島大 大学院) ,  鷹林将 (広島大 大学院) ,  高萩隆行 (広島大 大学院) ,  岡本圭司 (広島大 大学院) ,  岡本圭司 (トーヨーエイテック) ,  中谷達行 (トーヨーエイテック)
資料名： ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
巻： 20th  ページ： 180-181  発行年： 2006年11月21日 
JST資料番号： L1241A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *DLC膜 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=07A0024101&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=L1241A") }}

分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の表面構造一般  (BK15010E)

タイトルに関連する用語 (5件)： ダイヤモンドライクカーボン ,  DLC ,  薄膜 ,  XPS ,  解析