3D自由空間熱起動型マイクロミラー装置

文献

J-GLOBAL ID：200902210653238742 整理番号：06A0140196

3D free space thermally actuated micromirror device

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巻： 123-124 ページ： 468-475 発行年： 2005年09月23日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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