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J-GLOBAL ID：200902210654151438   整理番号：03A0433445

スピンコート法によるメソ構造を有する透明シリ力薄膜の作製と評価

Characterization and Preparation of Transparent Mesostructure Silica Thin Films by Spin Coating Method

著者 (6件)： 米内山賢 (東海大 工) ,  斎藤弘幸 (東海大 工) ,  樋口昌史 (東海大 工) ,  浅香隆 (東海大 工) ,  片山恵一 (東海大 工) ,  東保男 (東海大 工)
資料名： 日本セラミックス協会学術論文誌  (Journal of the Ceramic Society of Japan)
巻： 111  号： 1294  ページ： 413-418  発行年： 2003年06月01日 
JST資料番号： F0382A  ISSN： 0914-5400  CODEN： JCSJEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： オルトケイ酸テトラエチル(TEOS),界面活性剤セチルトリメ...

シソーラス用語： *薄膜成長 ,...
準シソーラス用語： *シリカ ,...

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (2件)： TEOS ,  CTAB

引用文献 (36件)：

• 1) Honma, I., Chem. Ind., Vol. 50, pp. 419-423 (1999) [in Japanese].
• 2) Kimuras, T. and Kuroda, K., Chem. Ind., Vol. 50, pp. 409-418 (1999) [in Japanese].
• 3) Tatumi, T. and Che, S., Mater. Integra., Vol. 3, pp. 50-56 (2000) [in Japanese].
• 4) Shigeno, T. and Kuroda, K., Mater. Integra., Vol. 2, pp. 29-33 (1999) [in Japanese].
• 5) Tatumi, T. and Che, S., Kinozairyo, Vol. 20, pp. 74-81 (2000) [in Japanese].

タイトルに関連する用語 (5件)： スピンコート ,  メソ構造 ,  薄膜 ,  作製 ,  評価