非晶質/結晶からなるシリコン-ヘテロ接合型太陽電池に関する分光学的偏光解析法および赤外分光法によるリアルタイム監視とプロセス制御

FUJIWARA H; KONDO M

文献

J-GLOBAL ID：200902211048114205 整理番号：05A0197003

非晶質/結晶からなるシリコン-ヘテロ接合型太陽電池に関する分光学的偏光解析法および赤外分光法によるリアルタイム監視とプロセス制御

Real-time monitoring and process control in amorphous/crystalline silicon heterojunction solar cells by spectroscopic ellipsometry and infrared spectroscopy

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資料名：
巻： 86 号： 3 ページ： 032112.1-032112.3 発行年： 2005年01月17日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

分光学的偏光解析法(SE)によって,結晶性Si基板とその上に...

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半導体薄膜 , 太陽電池

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