文献

J-GLOBAL ID：200902211213509228   整理番号：03A0707658

ロバストなセンシング技術 干渉計におけるフィードバック制御を用いたロバストなセンシング技術

著者 (2件)： 佐々木修己 (新潟大 工) ,  鈴木孝昌 (新潟大 工)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 69  号： 10  ページ： 1379-1382  発行年： 2003年10月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 従来の干渉計は高精度な反面,機械的な振動などの外乱に弱い欠点...

シソーラス用語： *形状測定 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=03A0707658&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0268A") }}

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (9件)：

• 佐々木修己. 位相変調干渉法による表面形状計測. 光技術コンタクト. 1999, 37, 8, 34
• 佐々木修己. 正弦波位相変調法におけるフィードバック干渉計. 光技術コンタクト. 2001, 39, 8, 33
• SUZUKI, T. Disturbance-free high-speed sinusoidal phase-modulating laser-diode interferometer by use of the shutter function of a CCD camera. Appl. Opt. 2002, 41, 10, 1949
• SUZUKI, T. Phase-locked laser diode interferometry for surface profile measurement. Appl. Opt. 1989, 28, 20, 4407
• SUZUKI, T. Phase-locked laser diode interferometer : High-speed feedback control system. Appl. Opt. 1991, 30, 25, 3622

タイトルに関連する用語 (4件)： ロバスト ,  センシング技術 ,  干渉計 ,  フィードバック制御