マグネシウム・パラジウム合金薄膜を用いた水素センサ

吉村和記; 仲野純章; 内梨栄; 山浦真一; 木村久道; 井上明久

文献

J-GLOBAL ID：200902211364577756 整理番号：05A0804881

マグネシウム・パラジウム合金薄膜を用いた水素センサ

HYDROGEN SENSOR USING Mg-Pd ALLOY THIN FILM

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資料名：
巻： 21 号： Supplement B ページ： 118-120 発行年： 2005年09月08日
JST資料番号： L3948A CODEN： KAGSEU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

ガラス基板上にマグネトロンスパッタリングで生成したPd/Mg...

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分析機器 , 金属薄膜

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