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J-GLOBAL ID：200902211393366004   整理番号：09A0091889

熱ナノインプリントを利用した微細加工に関する検討

著者 (5件)： 井上理樹 (北大) ,  佐藤拓也 (北大) ,  池辺将之 (北大) ,  福井孝志 (北大) ,  本久順一 (北大)
資料名： 応用物理学会北海道支部・日本光学会北海道地区合同学術講演会講演予稿集  (応用物理学会北海道支部学術講演会・日本光学会北海道地区講演予稿集)
巻： 44th-5th  ページ： 51  発行年： 2009年01月08日 
JST資料番号： L5918A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *微細加工 ,  *押付成形 ,  *熱成形 ,  基板 ,  ケイ素 ,  二酸化ケイ素 ,  *ポリメタクリル酸メチル ,  *スピンコーティング ,  *高分子薄膜 ,  パターン形成 ,  転写 ,  金型 ,  架橋【高分子】 ,  断面 ,  顕微鏡観察 ,  走査電子顕微鏡 ,  灰化 ,  プラズマ処理 ,  酸素
準シソーラス用語： *ナノインプリント

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L)

タイトルに関連する用語 (2件)： 熱ナノインプリント ,  微細加工