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J-GLOBAL ID:200902211551067559   整理番号:03A0523545

WO3薄膜マイクロガスセンサのNO2の感知特性

NO2 sensing characteristics of WO3 thin film microgas sensor
著者 (4件):
資料名:
巻: B93  号: 1/3  ページ: 463-467  発行年: 2003年08月01日 
JST資料番号: T0967A  ISSN: 0925-4005  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)技術を用いて...
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分類 (3件):
分類
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分析機器  ,  半導体薄膜  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
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