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J-GLOBAL ID：200902211551067559   整理番号：03A0523545

WO₃薄膜マイクロガスセンサのNO₂の感知特性

NO₂ sensing characteristics of WO₃ thin film microgas sensor

著者 (4件)： HE X (Inst. Electronics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  LI J (Inst. Electronics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  GAO X (Inst. Electronics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  WANG L (Inst. Electronics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： B93  号： 1/3  ページ： 463-467  発行年： 2003年08月01日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)技術を用いて...

シソーラス用語： *ガスセンサ ,...
準シソーラス用語： PECVD

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分類 (3件)： 分析機器  (CC02020S) ,  半導体薄膜  (BK14040E) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 薄膜 ,  ガスセンサ ,  NO2 ,  感知