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J-GLOBAL ID:200902211942702674   整理番号:06A0072735

微小重力容量型HARPSS加速度計の設計最適化と構築

Design Optimization and Implementation of a Microgravity Capacitive HARPSS Accelerometer
著者 (2件):
資料名:
巻:号:ページ: 39-46  発行年: 2006年02月 
JST資料番号: W1318A  ISSN: 1530-437X  CODEN: ISJEAZ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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標記に関し,micro-g(微小容量)分解能の横方向容量型加...
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分類 (2件):
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時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  ,  固体デバイス製造技術一般 
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