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J-GLOBAL ID：200902212060230365   整理番号：03A0287546

空気ばね型アクティブ絶縁装置を用いた傾斜補償制御

Incline compensation control using an air-spring type active isolated apparatus.

著者 (1件)： WAKUI S (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 27  号： 2  ページ： 170-174  発行年： 2003年04月 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 露光装置のXYステージを支える空気ばね型振動絶縁装置に導入し...

シソーラス用語： *防振装置 ,...

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分類 (1件)： 振動伝搬  (BB02040K)

タイトルに関連する用語 (3件)： 空気ばね ,  絶縁 ,  補償