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J-GLOBAL ID：200902212636854459   整理番号：08A0321145

パルスレーザ蒸着で調製したモリブデン酸化物の光記録膜

Optical Recording Molybdenum-Oxide Films Prepared by Pulsed Laser Deposition

著者 (5件)： MISHIRO Kazuma (Osaka Sangyo Univ., Osaka, JPN) ,  AOKI Takanori (Osaka Sangyo Univ., Osaka, JPN) ,  MATSUSHITA Tatsuhiko (Osaka Sangyo Univ., Osaka, JPN) ,  SUZUKI Akio (Osaka Sangyo Univ., Osaka, JPN) ,  OKUDA Masahiro (Okuda Technical Office, Osaka, JPN)
資料名： Proceedings of the Symposium on Phase Change Optical Information Storage  (Proceedings of the Symposium on Phase Change Optical Information Storage)
巻： 19th  ページ： 21-26  発行年： 2007年 
JST資料番号： L1450A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ライトワンス光ディスクの材料として,Cu-Si,Bi-Ge-N,AgO_xなどが検討されているが,光記録パワーマージンや温度特性を改善するため,モリブデン酸化物について検討した。ArFエキシマレーザ(193nm)のパルスレーザ蒸着法で,ガラス基板やポリカーボネート基板にMoO₃の光記録膜を堆積した。波長400nmの光で透過率を測定した。堆積直後とアニール後の透過率の変化は約40%であり,酸素欠陥の補償でアニール後に透過率が増加した。膜厚やレーザパワーを変えて,光記録でのCNRを調べた。30nm,3~11mWで約50dB,40nm,3~12mwで約50dB,50nm,5~14.5mWで約55dBであった。30nmの保護膜のある30nmのMoO₃膜でのCNRは,9~17mWで50dBであった。光記録のパワーマージンが向上することが分かった。

シソーラス用語： *光学記録 ,  誘電体薄膜 ,  *酸化モリブデン ,  *レーザ蒸着 ,  パルスレーザ照射 ,  光ディスク ,  記録材料 ,  温度依存性 ,  エキシマレーザ ,  基板 ,  電気装置部品 ,  ポリカーボネート ,  透過率 ,  焼なまし ,  膜厚 ,  比率 ,  SN比 ,  *パルスレーザ蒸着 ,  ガラス基板
準シソーラス用語： CNR ,  温度特性

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  電子・磁気・光学記録  (NC06020F)

タイトルに関連する用語 (4件)： パルスレーザ蒸着 ,  調製 ,  モリブデン酸化物 ,  光記録