文献

J-GLOBAL ID：200902212697016022   整理番号：09A0118452

ダミーフィルの影響を考慮したオンチップ渦巻きインダクタ用のパターンドフローティングダミーフィル

Patterned Floating Dummy Fill for On-Chip Spiral Inductor Considering the Effect of Dummy Fill

著者 (2件)： TSUCHIYA Akira (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  ONODERA Hidetoshi (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques  (IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques)
巻： 56  号： 12,Pt.2  ページ： 3217-3222  発行年： 2008年12月 
JST資料番号： C0229A  ISSN： 0018-9480  CODEN： IETMAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Si-CMOSプロセスにより銅線を使う渦巻き型インダクタの作製では,化学機械研磨における厚さ変動を避けるために金属のダミーフィルが必要である。ダミーフィルはキャパシタンスに影響するだけでなく,渦電流によりインダクタのQ値にも影響する。本研究では,ダミーフィルの影響を抑制する構造として,パターンドフローティングダミー(PFD)を提案し,3次元電界ソルバによりダミーフィルの影響を評価した。実験結果では,提案した方法により通常のダミーフィルに比べQ値低下を83%減ずることができた。

シソーラス用語： 超小形回路技術 ,  *薄膜インダクタ ,  *半導体プロセス ,  渦電流 ,  *充填材料 ,  計算機プログラム
準シソーラス用語： オンチップ ,  *スパイラルインダクタ ,  *CMOSプロセス ,  *ダミーフィル ,  ソルバ

分類 (2件)： LCR部品  (NA05030D) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： ダミー ,  オンチップ ,  インダクタ