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J-GLOBAL ID：200902212831857705   整理番号：08A0332910

並進エネルギーアシストCVDによる機能性薄膜の室温反応形成技術

著者 (1件)： 田川雅人 (神戸大 工)
資料名： ひょうご科学技術協会学術研究支援事業研究成果報告書
巻： 2006  ページ： 59(1),59-64  発行年： 2008年03月 
JST資料番号： L5775A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 原子状酸素ビームを用いてSiの室温酸化実験とビーム励起化学気相反応による酸化インジウム薄膜形成実験を行い,酸化けい素膜厚みに対する原子状酸素照射量の影響と酸化インジウム薄膜形状に対するインジウム蒸着法の影響を調べた。パルスバルブと炭酸ガスレーザを用いて高強度原子ビームが得られるレーザデトネーション型原子ビーム装置を用いた。その結果,次のことが分かった。1)反応の初期段階では急速に酸化が進行しその後放射状に緩やかに酸化けい素膜厚みが増加する,2)酸素分子照射下で形成された酸化インジウム薄膜は半透明なメタリック光沢を示すが原子状酸素照射下では透明な薄膜が形成される。

シソーラス用語： 酸化インジウム ,  酸化ケイ素 ,  *薄膜成長 ,  炭酸ガスレーザ ,  デトネーション ,  原子ビーム ,  酸化 ,  並進エネルギー
準シソーラス用語： *CVD【化学蒸着】 ,  薄膜形成

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (8件)：

• G. E. Caledonia, R. H. Krech and B. D. Green, AIAA Journal, Vol.25(1987). 59.
• T. K. Minton, M. Tagawa, G. M. Nathanson, Journal of Spacecraft and Rockets, Vol.41(2004) 389.
• M. Tagawa, C. Sogo, K. Yokota, A. Yoshigoe, T. Teraoka, T. Shimura, Applied Physics Letters, Vol.88(2006) 133512.
• M. Tagawa, K. Matsumoto, H. Doi, K. Yokota, J. Spacecraft and Rockets, Vol.43, No.5(2006) 999.
• M. Tagawa, C. Sogo, K. Yokota, S. Hachiue, A. Yoshigoe, Y. Teraoka, Jpn. J. Appl. Phys., Vol.44, No.12(2005) 8300.

タイトルに関連する用語 (5件)： 並進エネルギー ,  アシスト ,  CVD ,  機能性薄膜 ,  室温