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J-GLOBAL ID：200902212884302292   整理番号：04A0035418

Al₂O₃(0001)基板上のプラズマ支援分子ビームエピタクシーによるZnO層成長におけるMgOバッファ

Study on MgO buffer in ZnO layers grown by plasma-assisted molecular beam epitaxy on Al₂O₃(0001)

著者 (5件)： SETIAWAN A (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KO H J (Korea Photonics Technol. Inst., Gwangiu, KOR) ,  HONG S K (Chungnam National Univ., Daejeon, KOR) ,  CHEN Y (Lucent Technol., NJ, USA) ,  YAO T (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 445  号： 2  ページ： 213-218  発行年： 2003年12月15日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマ支援MBE(P-MBE)によってAl<sub>2<...

シソーラス用語： *MBE成長 ,...
準シソーラス用語： 歪緩和

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： Al2O3 ,  プラズマ ,  支援 ,  分子ビームエピタクシー ,  成長 ,  MgO ,  バッファ