遺伝的アルゴリズムを用いた4way方式定盤における半径方向溝割合の最適化

文献

J-GLOBAL ID：200902213475041467 整理番号：05A1019051

Optimization of Lapping Plate/Polishing Cloth Groove Rates in Radius Direction Using Genetic Algorithm for 4-Way Water System

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資料名：
巻： 70 号： 5 ページ： 651-655 発行年： 2004年05月05日
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

4way方式による研磨・修正加工において,ウェーハの全表面に...

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固体デバイス製造技術一般 , 研削

引用文献 (6件)：

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