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文献
J-GLOBAL ID:200902213557697328   整理番号:09A1035337

X線ナノ集束反射鏡の形状誤差補正の新しい方式

Novel Scheme of Figure-Error Correction for X-ray Nanofocusing Mirror
著者 (12件):
資料名:
巻: 48  号: 9,Issue 1  ページ: 096507.1-096507.4  発行年: 2009年09月25日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPB6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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X線ナノ反射鏡の性能を向上させるために,楕円面鏡の形状誤差をその場で検出し補正する方法を実証した。焦点面で測定したX線強度分布から,形状誤差を代表する鏡表面の位相誤差プロファイルを数値的に再構成する。サブナノメータの厚みを制御して表面上にPt膜を蒸着して形状誤差を補正する。集束実験とそれに続く解析の結果は集束性能の大幅な改善を示した。(翻訳著者抄録)
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