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J-GLOBAL ID：200902213819931122   整理番号：06A0255276

シリコンドリフト線検出器による走査電子顕微鏡でのSEM-EDX

SEM-EDX with an SDD X-Ray Detector Installed onto the Scanning Electron Microscope

著者 (2件)： 石井秀司 (京大 大学院工学研究科) ,  河合潤 (京大 大学院工学研究科)
資料名： X線分析の進歩  (X線工業分析)
巻： 37  ページ： 281-288  発行年： 2006年03月31日 
JST資料番号： Z0547B  ISSN： 0911-7806  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 市販の低真空走査電子顕微鏡装置に,2社のシリコンドリフト検出...

シソーラス用語： *Si半導体検出器 ,...

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分類 (2件)： 金属,合金の物理分析  (CC03040V) ,  ろう付  (WC07050C)

引用文献 (15件)：

• 高橋秀之: “ SEM-EDS”,「蛍光X線分析の実際」, 中井泉編, pp. 136(2005),(朝倉書店).
• http://www.rontec.com/ (2006年1月アクセス).
• http://www.iss-group.co.uk/edx.htm (2006年1月アクセス).
• http://www.jeol.co.jp/ (2006年1月アクセス).
• http://www.ourstex.co.jp/SDD.html (2006年1月アクセス).

タイトルに関連する用語 (5件)： シリコン ,  ドリフト ,  検出器 ,  走査電子顕微鏡 ,  SEM-EDX