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J-GLOBAL ID:200902214208501013   整理番号:04A0534533

イオン化化学蒸着によるナノ粒子合成におけるイオン誘起核形成

Ion-Induced Nucleation in Nanoparticle Synthesis by Ionization Chemical Vapor Deposition
著者 (3件):
資料名:
巻: 38  号:ページ: 496-505  発行年: 2004年05月 
JST資料番号: H0030B  ISSN: 0278-6826  CODEN: ASTYDQ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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原料気体を反応器に投入する前にイオン化するイオン化化学蒸着に...
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分類 (1件):
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応用物理化学的操作・装置 

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