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J-GLOBAL ID：200902214522128084   整理番号：09A0381691

超格子胞をもたない多重層構造に対する多ビーム動的シミュレーション

Many-beam dynamical simulation for multilayer structures without a superlattice cell

著者 (4件)： OHTSUKA Masahiro (Tokyo Univ. Sci., Tokyo, JPN) ,  YAMAZAKI Takashi (Tokyo Univ. Sci., Tokyo, JPN) ,  HASHIMOTO Iwao (Tokyo Univ. Sci., Tokyo, JPN) ,  WATANABE Kazuto (Tokyo Metropolitan Coll. Industrial Technol., Tokyo, JPN)
資料名： Acta Crystallographica. Section A. Foundations of Crystallography  (Acta Crystallographica. Section A. Foundations of Crystallography)
巻： 65  号： 2  ページ： 135-140  発行年： 2009年03月 
JST資料番号： A0315B  ISSN： 0108-7673  CODEN： ACACEQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 埋め込まれたクラスターあるいは界面の平面図透過型電子顕微鏡法(TEM)のためのLBL法を拡張して,界面境界条件を用い,そして次の層における入射波中に透過波を保存することにより連続する結晶層を通る高速電子の動力学的伝播を表現した。この方法により不整合多重層膜の高分解能TEM(HRTEM)シミュレーションを行なうことができた。Si(011)の集束ビーム電子線回折計算とGaAs(100)上のエピタキシャルAl(100)系のHRTEMを比較することで筆者らの方法の精度を調べた。これらの薄膜は,MgOに埋め込まれたCdSeクラスターの結晶格子面の相対的シフトのためにモアレ様格子縞模様が形成されることを明らかにした。

シソーラス用語： *不整合 ,  *多層膜 ,  *透過型電子顕微鏡 ,  計算機シミュレーション ,  基板 ,  ケイ素 ,  高速電子回折 ,  ヒ化ガリウム ,  アルミニウム ,  金属薄膜 ,  *埋込み【挿入】 ,  セレン化カドミウム ,  化合物半導体 ,  *クラスタ ,  酸化マグネシウム ,  *シミュレーション ,  計算機利用 ,  利用
準シソーラス用語： 高分解能TEM ,  *動的シミュレーション

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 超格子 ,  多重層 ,  多ビーム ,  動的シミュレーション