チタン中間層を二段階製造工程で製作した38.5回転Y-X LiTaO<sub>3</sub>上のエピタキシャルアルミニウム電極を持った高耐電力性SAWフィルタ

NAKAGAWARA O; SAEKI M; TERAMOTO A; HASEGAWA M; IEKI H

文献

J-GLOBAL ID：200902214632253160 整理番号：04A0257973

チタン中間層を二段階製造工程で製作した38.5回転Y-X LiTaO₃上のエピタキシャルアルミニウム電極を持った高耐電力性SAWフィルタ

HIGH POWER DURABLE SAW FILTER WITH EPITAXIAL ALUMINUM ELECTRODES ON 38.5 ROTATED Y-X LiTaO₃ BY TWO-STEP PROCESS SEQUENCE IN TITANIUM INTERMEDIATE LAYER.

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資料名：
巻： 2003 号： Vol.2 ページ： 1734-1737 発行年： 2003年
JST資料番号： A0437C ISSN： 1051-0117 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Ti中間層の初期成長領域に高温工程を用いた二段階成長工程を用...

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弾性表面波デバイス

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チタン中間層を二段階製造工程で製作した38.5回転Y-X LiTaO3上のエピタキシャルアルミニウム電極を持った高耐電力性SAWフィルタ

チタン中間層を二段階製造工程で製作した38.5回転Y-X LiTaO₃上のエピタキシャルアルミニウム電極を持った高耐電力性SAWフィルタ