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J-GLOBAL ID：200902214855008477   整理番号：07A1193235

慣性力発生装置を用いたアクティブ消振システムの開発

Development of an Active Vibration Canceling System Using Intertial Force Generators

著者 (7件)： 田上将治 (東京農工大) ,  山下智之 (東京農工大) ,  田川泰敬 (東京農工大) ,  安田正志 (特許機器) ,  洞宏一 (特許機器) ,  遠藤健一 (特許機器) ,  野口保行 (東京農工大)
資料名： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 73  号： 735  ページ： 2948-2954  発行年： 2007年11月25日 
JST資料番号： F0045B  ISSN： 0387-5024  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体露光装置などの超精密加工装置は,その設置床との振動絶縁...

シソーラス用語： 慣性力 ,...
準シソーラス用語： 振動絶縁 ,...

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分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (5件)：

• YASUDA, M. Double-active Control of Micrvibration Isolation Systems to Improve Performance. Trnsactions of the Japan Society of Mechanical Engineers, series C. 1993, 59, 562, 1694-1701
• FUJITA, T. Active Microvibration Control system Using Piezoelectric Actuator. Trnsactions of the Japan Society of Mechanical Engineers, series C. 1993, 59, 559, 753-739
• YASUDA, M. Study of Active Isolation System with Feedforward Control. Transaction of the Japan Society of Mechanical Engineers Series C. 1992, 58, 552, 2381-2387
• TAGAMI, M. Development of an Active Vibration Canceling System Using a Stage Driving Signal. MOVIC 2006. 2006
• TAGAWA, Y. Study of 6-DOF Microvibration Control Using Feedfoward Control. Jounal of the Japan Society of Mechanical Engineers, series C. 1997, 63, 608, 1081-1087

タイトルに関連する用語 (3件)： 慣性力 ,  発生装置 ,  開発