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J-GLOBAL ID:200902215740903932   整理番号:09A0083209

ゲルマニウム結晶中のホウ素の偏析

Segregation of boron in germanium crystal
著者 (4件):
資料名:
巻: 311  号:ページ: 59-61  発行年: 2008年12月15日 
JST資料番号: B0942A  ISSN: 0022-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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高濃度ホウ素(B)ドープしたゲルマニウム(Ge)バルク結晶は,Czochralski法で成長した。結晶中のホウ素濃度は,Hall効果によるキャリア濃度測定および,抵抗測定で算出した。Ge中のBの最大溶解度は,2.5×1018cm-3と見積もった。Ge中のBの平衡偏析係数は,5~6と考察したが,以前に報告された値よりも非常に小さかった。Copyright 2009 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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半導体の結晶成長 
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