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J-GLOBAL ID：200902216535237756   整理番号：08A0766453

30.4nmにおけるSiC/Mg多層膜反射鏡

SiC/Mg Multilayer Film Reflective Mirror at 30.4 nm

著者 (12件)： Zhu Jingtao (Inst. of Precision Optical Engineering and Technol., Tongji Univ., Shanghai) ,  Zhang Shumin (Inst. of Precision Optical Engineering and Technol., Tongji Univ., Shanghai) ,  Wang Bei (Inst. of Precision Optical Engineering and Technol., Tongji Univ., Shanghai) ,  Wu Wenjuan (Inst. of Precision Optical Engineering and Technol., Tongji Univ., Shanghai) ,  Li Cunxia (Inst. of Precision Optical Engineering and Technol., Tongji Univ., Shanghai) ,  Xu Yao (Inst. of Precision Optical Engineering and Technol., Tongji Univ., Shanghai) ,  Zhang Zhong (Inst. of Precision Optical Engineering and Technol., Tongji Univ., Shanghai) ,  Wang Fengli (Inst. of Precision Optical Engineering and Technol., Tongji Univ., Shanghai) ,  Wang Zhanshan (Inst. of Precision Optical Engineering and Technol., Tongji Univ., Shanghai) ,  Chen Lingyan (Inst. of Precision Optical Engineering and Technol., Tongji Univ., Shanghai) ,  Zhou Hongjun (Nantional Synchrotron Radiation Lab., Univ. of Sci. and Technol. of China, Hefei) ,  Huo Tonglin (Nantional Synchrotron Radiation Lab., Univ. of Sci. and Technol. of China, Hefei)
資料名： Guangxue Xuebao  (Guangxue Xuebao)
巻： 27  号： 4  ページ： 735-738  発行年： 2007年 
JST資料番号： C2088A  ISSN： 0253-2239  CODEN： GUXUDC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 波長30.4nmのHe-IIスペクトルは極端紫外線天文観測の重要なスペクトルで,観測には通常多層膜反射鏡が用いられる。SiC/Mg,B_4C/Mg,C/Mg,C/Al,Mo/Si,B_4C/SI,SiC/Si,C/Si,Sc/Siからなる多層膜の30.4nmにおける反射を調べた。SiC/Mg多層膜を膜材料に選んで多層膜鏡に対する最大反射率と最小幅とを最適化し,マグネトロンスパッタリングによりSiC/Mg多層膜を作製した。SiC/Mgの周期的厚みをX線回折計により測定し,反射率をシンクロトロン放射施設の反射率計を用いて測定した。入射角12°における30.4nm波長の反射率は38.0%であった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *多層膜 ,  *反射鏡 ,  極端紫外線 ,  天文学 ,  マグネトロンスパッタリング ,  X線回折 ,  *反射率 ,  反射率計 ,  炭化ケイ素 ,  マグネシウム ,  薄膜成長
準シソーラス用語： 紫外線天文学

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (3件)： SiC ,  Mg ,  多層膜反射鏡