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J-GLOBAL ID：200902217103834350   整理番号：04A0623941

ナノ構造配列を基盤とする分子ナノ工学の構築とマイクロシステムへの展開 2.4.2 ナノプロセスシミュレーター

Construction of molecular nano engineering whose basis is nanostructure arrangement, its developmento to microsystem, 2.4.2 Nanoprocess simulator.

著者 (8件)： 渡辺孝信 (早稲田大 大学院理工学研究科) ,  辰村光介 (早稲田大 理工) ,  西山勝彦 (早稲田大 理工) ,  松戸正春 (早稲田大 理工) ,  山崎大輔 (早稲田大 理工) ,  原口央成 (早稲田大 理工) ,  広田将司 (早稲田大 理工) ,  大泊巌 (早稲田大 理工)
資料名： 早稲田大学COE分子ナノ工学研究拠点ナノ構造配列を基盤とする分子ナノ工学の構築とマイクロシステムへの展開実績報告書 平成16年3月  (文部科学省科学研究費補助金(中核的研究拠点COE)形成プログラムに係る助成)
ページ： 180-181  発行年： 2004年 
JST資料番号： N20041449  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： Si,Oの混在する系に対し,単純な原子間ポテンシャルを仮定し...

シソーラス用語： *ナノ構造 ,...

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分類 (1件)： 半導体の表面構造  (BK15030A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 構造配列 ,  基盤 ,  分子ナノ工学 ,  構築 ,  マイクロシステム ,  展開