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J-GLOBAL ID：200902217550705002   整理番号：03A0422018

高精度X線ミラーのための干渉計を利用した形状計測システムの開発

Development of the Measurement System with Interferometers for Ultraprecise X-ray Mirror

著者 (9件)： 山内和人 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科研セ) ,  三村秀和 (大阪大 大学院工学研究科) ,  佐野泰久 (大阪大 大学院工学研究科) ,  久保田章亀 (大阪大 大学院工学研究科) ,  関戸康裕 (大阪大 大学院工学研究科) ,  上野一匡 (大阪大 大学院工学研究科) ,  SOUVOROV A (高輝度科学研究セ) ,  玉作賢治 (理研)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 69  号： 6  ページ： 856-860  発行年： 2003年06月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では透過型平面参照面を有するフィゾー型干渉計(ZYGO...

シソーラス用語： *形状測定 ,...

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分類 (3件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  X線技術  (BA02060D)

引用文献 (11件)：

• 1) P.Takacs, S.Qian, J.Colbert: Design of long trace surface profiler, SPIE 749 (1987) 59.
• 2) H.Li, P.Takacs, T.Oversluizen: Vertical scanning long trace profiler, SPIE 3152 (1997) 180.
• 3) 根岸真人:高精度自由曲面形状測定装置の開発,精密工学会誌,67,(2001)632.
• 4) Y. Mori, K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, A. Saito, H. Kishimoto, Y. Sekito, M. Kanaoka, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa: Development of Plasma Chemical Vaporization Machining and Elastic Emission Machining Systems for Coherent X-ray Optics, Proc. SPIE, 4501 (2001) 30.
• 5) 山内和人,山村和也,三村秀和,佐野泰久,久保田章亀,金岡政彦,Alexei Souvorov 玉作賢治矢橋牧石川哲也: 硬X線用斜入射平面ミラーの形状誤差が反射X線強度・位相分布に及ぼす影響の波動光学的評価, 精密工学会誌, 掲載予定.

タイトルに関連する用語 (4件)： X線ミラー ,  干渉計 ,  形状計測 ,  開発