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J-GLOBAL ID：200902217716084702   整理番号：04A0479328

プラズマCVD法により合成したDLC-Si膜の耐焼付き性

著者 (3件)： 森広行 (豊田中研) ,  中西和之 (豊田中研) ,  太刀川英男 (豊田中研)
資料名： 表面技術協会講演大会講演要旨集
巻： 109th  ページ： 287-288  発行年： 2004年03月08日 
JST資料番号： Y0050A  ISSN： 0917-2947  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *プラズマCVD ,...
準シソーラス用語： DLC【炭素】 ,...

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分類 (2件)： 潤滑一般  (QB02010S) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (1件)： テトラメチルシラン

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマCVD法 ,  DLC ,  Si膜 ,  耐焼付き性