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J-GLOBAL ID：200902218403603551   整理番号：04A0749980

垂直櫛型電極を持つz軸差動式静電容量SOI加速度計

A z-axis differential capacitive SOI accelerometer with vertical comb electrodes

著者 (2件)： TSUCHIYA T (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  FUNABASHI H (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A116  号： 3  ページ： 378-383  発行年： 2004年10月29日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記デバイスではシリコン層は一層のみで,上部及び下部電極はな...

シソーラス用語： *加速度計 ,...

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分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (7件)： 垂直 ,  櫛型電極 ,  z軸 ,  差動 ,  静電容量 ,  SOI ,  加速度計