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J-GLOBAL ID：200902218508067027   整理番号：09A0283182

ナノ軟質金属薄膜の超高真空中における摩擦特性とその原子尺度の観察

著者 (1件)： 後藤実 (宇部工高専)
資料名： トライボロジスト  (Journal of Japanese Society of Tribologists)
巻： 54  号： 3  ページ： 160-165,147(1)  発行年： 2009年03月15日 
JST資料番号： F0390A  ISSN： 0915-1168  CODEN： TORAEO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 軟質金属固体潤滑膜として使用されているAg膜のナノメートル尺度の膜構造と巨視的トライボロジー特性の関係に着目し,本報では膜厚数nmの軟質金属膜(Ag膜)の巨視的な摩擦・摩耗特性と原子レベルの分析・観察手法で得られた知見との関係について解説した。主な内容項目を次に示した。1)概要:軟質金属固体潤滑膜の摩擦特性における膜厚効果(摩擦係数が膜厚に依存して変化すること),2)原子尺度の観察による膜厚効果の理解:原子尺度の膜厚をもつAg薄膜の巨視的な摩擦特性,超高真空摩擦試験装置の構成図,Si(111)清浄面上のAg膜の膜厚と平均摩擦係数の関係,STMとAFMによるSi(111)表面上におけるAg膜の成長過程の観察(ナノスケールの膜モルホロジーの変化),3)ナノモルホロジーと摩擦特性:膜厚5nmのAg膜の摩擦による結晶配向性変化およびモルホロジー変化,4)摩擦再配向過程の観察:膜厚5nmおよび57nmのAg多結晶膜の摩擦係数推移,単結晶膜と多結晶膜の摩擦係数の比較,膜厚5nmのAg多結晶膜の摩擦による結晶配向性変化およびモルホロジー変化。

シソーラス用語： *金属薄膜 ,  *ナノ構造 ,  超薄膜 ,  *銀 ,  *トライボロジー ,  潤滑 ,  潤滑膜 ,  走査型トンネル顕微鏡 ,  原子間力顕微鏡 ,  RHEED ,  ケイ素 ,  モルフォロジー ,  摩擦係数 ,  摩耗特性 ,  摩擦 ,  超高真空 ,  再配向 ,  Auger分光法 ,  エピタクシー ,  摩擦試験 ,  結晶構造 ,  膜厚 ,  結晶方位 ,  ナノシート
準シソーラス用語： ナノ薄膜 ,  超潤滑 ,  *摩擦特性

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  潤滑一般  (QB02010S)

引用文献 (14件)：

• 木村好次. トライボロジー概論. 1982
• BOWDEN, F. P. The Friction and Lubrication of Solids. 1964
• ARNELL, R. D. The Effects of Speed, Film Thickness and Substrate Surface Roughness on the Friction and Wear of Soft Metal Films in Ultrahigh Vacuum. Thin Solid Films. 1978, 53, 333-341
• HALLING, J. Surface Coatings Materials Conservation and Optimum Tribological Performance. Tribo. Int. 1979, 12, 203-208
• 後藤実. Ag極薄膜のナノメートル尺度の膜構造と超高真空中における巨視的トライボロジー特性に関する研究. 平成十六年度東京工業大学学位論文. 2004

タイトルに関連する用語 (7件)： 軟質金属 ,  薄膜 ,  高真空 ,  摩擦特性 ,  原子 ,  尺度 ,  観察