非晶質亜鉛すず酸化物チャネル層を有する高移動度透明薄膜トランジスタ

CHIANG H Q; WAGER J F; HOFFMAN R L; JEONG J; KESZLER D A

文献

J-GLOBAL ID：200902219056235900 整理番号：05A0099033

非晶質亜鉛すず酸化物チャネル層を有する高移動度透明薄膜トランジスタ

High mobility transparent thin-film transistors with amorphous zinc tin oxide channel layer

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資料名：
巻： 86 号： 1 ページ： 013503.1-013503.3 発行年： 2005年01月03日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

RFマグネトロンスパッタリングにより堆積した亜鉛すず酸化物チ...

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トランジスタ , 酸化物薄膜

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