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J-GLOBAL ID：200902219144468841   整理番号：08A0425683

STEM像とNBDパターンの同時測定-高精度計測技術開発基礎検討-

著者 (3件)： 上杉文彦 (東芝ナノアナリシス) ,  外園明 (東芝セミコンダクター社) ,  竹野史郎 (東芝 研開セ)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 55th  号： 2  ページ： 817  発行年： 2008年03月27日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *電子顕微鏡観察 ,  *回折 ,  同時計測 ,  *歪分布
準シソーラス用語： ナノビーム回折

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (6件)： STEM ,  NBD ,  同時測定 ,  計測技術 ,  開発 ,  基礎検討