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J-GLOBAL ID：200902219185290712   整理番号：07A0138924

有機-無機ハイブリッドガラスの直接ナノインプリント

Direct nanoimprint of inorganic-organic hybrid glass

著者 (3件)： OKINAKA Motoki (RIKEN, Hirosawa 2-1, Wako, Saitama 351-0198, JPN) ,  TSUKAGOSHI Kazuhito (RIKEN, Hirosawa 2-1, Wako, Saitama 351-0198, JPN) ,  AOYAGI Yoshinobu (Dep. of Information Processing, Tokyo Inst. of Technol., Nagatsuda 4259, Midori, Yokohama, Kanagawa 226-8502, Japan ...)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 24  号： 3  ページ： 1402-1404  発行年： 2006年05月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 有機-無機ハイブリッドガラスナノインプリントを,SiO<su...

シソーラス用語： 複合材料 ,...
準シソーラス用語： *ナノインプリントリソグラフィー

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ガラス・セラミック被覆一般  (YC02010D)

タイトルに関連する用語 (3件)： 有機-無機ハイブリッド ,  ガラス ,  ナノインプリント