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J-GLOBAL ID：200902219569543197   整理番号：06A0935291

「トレーサビリティ・絶対値を確保した表面分析技術」X線反射率による膜構造測定における不確かさ

Uncertainty of Film Structures Evaluated by X-Ray Reflectivity

著者 (2件)： 表和彦 (リガク X線研) ,  伊藤義泰 (リガク X線研)
資料名： 表面科学  (JSSSJ)
巻： 27  号： 11  ページ： 642-648  発行年： 2006年11月10日 
JST資料番号： F0940B  ISSN： 0388-5321  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 薄膜の膜厚測定にX線反射率が頻用されるようになっていることか...

シソーラス用語： *X線 ,...
準シソーラス用語： 多波長

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分類 (2件)： 薄膜一般  (BK14010X) ,  X線回折法  (BK01020I)

引用文献 (15件)：

• 1) “International Tables for Crystallography, Vol. C” (Second Ed.), (Kluwer Academic Publishers, Dordrecht/Boston/London, 1999) p. 255.
• 2) “International Tables for Crystallography, Vol. C” (Second Ed.) (Kluwer Academic Publishers, Dordrecht/Boston/London, 1999) p. 223.
• 3) L.G. Parratt: Phys. Rev. 95, 359 (1954).
• 4) S.K. Shinha, E.B. Sirota, S. Garoff and H.B. Stanley: Phys. Rev. B 38, 2297 (1988).
• 5) K. Sakurai and A. Iida: Jpn. J. Appl. Phys. 31, L 113 (1992).

タイトルに関連する用語 (6件)： トレーサビリティ ,  絶対値 ,  表面分析 ,  X線反射率 ,  膜構造 ,  不確かさ