陽極酸化法で作製したシリコン酸化膜の特性

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J-GLOBAL ID：200902219619958520 整理番号：04A0344173

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資料名：
巻： 51st 号： 2 ページ： 845 発行年： 2004年03月28日
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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その他の無機化合物の電気伝導 , 酸化物薄膜

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