文献

J-GLOBAL ID：200902219623890426   整理番号：09A1282749

自己結合効果を用いた微小振動の自動測定

Automatic Measurement with Small Vibration Sensor Using Self-Coupling Effect

著者 (3件)： 名和靖彦 (愛知工業大学) ,  津田紀生 (愛知工業大学) ,  山田諄 (愛知工業大学)
資料名： 電気学会論文誌 C  (IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems)
巻： 129  号： 12  ページ： 2115-2120 (J-STAGE)  発行年： 2009年 
JST資料番号： S0810A  ISSN： 0385-4221  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体集積回路の微細化やフォトニクス結晶,MEMS等のナノ技術の進歩に伴い,製造過程において品質低下を招く微小振動を常に監視するセンサが必要になってくる。半導体レーザの自己結合効果を用いて,非接触でLDの発振波長の半波長より小さいターゲットの振動周波数が数kHz以下で振動振幅が数mm以下の微小振動と振動周波数を高精度で自動的に測定できるように,外部振動に強く,外部干渉系を持たない小型で構造が簡単なセンサシステムを研究した。発光,干渉,検出をLDとLD内臓のフォトダイオードのみで行う。センサ部を駆動させるための入力信号をマイクロコンピュータで発生させ,その信号を駆動回路に通して圧電素子に印加することにより,センサ部をLDの発振波長の半波長以上移動させて,基準信号を発生させる。

シソーラス用語： 半導体プロセス ,  *振動測定 ,  振動数 ,  *自動計測 ,  *非接触測定 ,  半導体レーザ ,  レーザ応用
準シソーラス用語： 微小振動 ,  振動周波数 ,  自動測定

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  振動の励起・発生・測定  (BB02030Z) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

引用文献 (8件)：

• (1) レーザ計測ハンドブック編集委員会編:「レーザ計測ハンドブック」,(丸善)(1993)
• (2) P. J. Groot, G. M. Gallatin, and S. H. Macomber : “Ranging and velocimetry signal generation in a backscatter-modulated laser diode”, Appl. Opt., Vol. 21, No. 21, pp. 4475-4480 (1988-11)
• (3) L. Krehut, J. Hast, E. Alarousu, and R. Myllyla : “Low cost velocity sensor based on the self-mixing effect in a laser diode”, Opto-Electronics Rev., Vol. 11, No. 4, pp. 313-319 (2003)
• (4) T. Gharbi, A. Courtevill, and A. Chebbour : “Backscatter-modulated laser diode for low-frequency small-amplitude vibration measurement”, Appl. Opt., Vol. 36, pp. 8233-8237 (1997)
• (5) G. Giuliani, S. Donati, and L. Monti : “Self-mixing laser diode vibrometer with wide dynamic range”, Proc. SPIE 4827, pp. 353-362 (2002)

タイトルに関連する用語 (3件)： 自己 ,  微小振動 ,  自動測定