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文献
J-GLOBAL ID:200902219623890426   整理番号:09A1282749

自己結合効果を用いた微小振動の自動測定

Automatic Measurement with Small Vibration Sensor Using Self-Coupling Effect
著者 (3件):
資料名:
巻: 129  号: 12  ページ: 2115-2120 (J-STAGE)  発行年: 2009年
JST資料番号: S0810A  ISSN: 0385-4221  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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半導体集積回路の微細化やフォトニクス結晶,MEMS等のナノ技術の進歩に伴い,製造過程において品質低下を招く微小振動を常に監視するセンサが必要になってくる。半導体レーザの自己結合効果を用いて,非接触でLDの発振波長の半波長より小さいターゲットの振動周波数が数kHz以下で振動振幅が数mm以下の微小振動と振動周波数を高精度で自動的に測定できるように,外部振動に強く,外部干渉系を持たない小型で構造が簡単なセンサシステムを研究した。発光,干渉,検出をLDとLD内臓のフォトダイオードのみで行う。センサ部を駆動させるための入力信号をマイクロコンピュータで発生させ,その信号を駆動回路に通して圧電素子に印加することにより,センサ部をLDの発振波長の半波長以上移動させて,基準信号を発生させる。
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (3件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス製造技術一般  ,  振動の励起・発生・測定  ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器 
引用文献 (10件):
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タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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