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J-GLOBAL ID：200902219740558327   整理番号：04A0415580

ナノ秒パルス・ベッセルビームを用いたレーザーマイクロドリル

Laser Micro Drilling Using a Nanosecond-Pulse Bessel Beam

著者 (2件)： 松岡芳彦 (産業技術総合研 マイクロ・ナノ機能広域発現研セ) ,  河野正道 (産業技術総合研 マイクロ・ナノ機能広域発現研セ)
資料名： レーザー研究  (レーザー学会誌)
巻： 32  号： 5  ページ： 348-351,370  発行年： 2004年05月15日 
JST資料番号： X0335A  ISSN： 0387-0200  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： Besselビーム(J₀ビーム)を用い...

シソーラス用語： *レーザ穴あけ ,...

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分類 (2件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  レーザの応用  (BD04100V)

引用文献 (16件)：

• 1) H. Zheng, E. Gan, and G. C. Lim: Opt. Lasers Eng. 36 (2001) 355.
• 2) G. K. L. Ng and L. Li: Opt. Laser Technol. 33 (2001) 393.
• 3) E. Gofuku, T. Ohnawa, M. Takada, F. Matsukawa, and M. Nunoshita: Appl. Surf. Sci. 64 (1993) 353.
• 4) X. Zhu, D. M. Villeneuve, A. Yu. Naumov, S. Nikumb, and P. B. Corkum: Appl. Surf. Sci. 152 (1999) 138.
• 5) J. Bekesi, J. -H. Klein-Wiele, and P. Simon: Appl. Phys. A 76 (2003) 355.

タイトルに関連する用語 (4件)： ナノ秒パルス ,  ベッセルビーム ,  レーザー ,  マイクロドリル