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J-GLOBAL ID:200902219985846247   整理番号:09A0283189

(111)面に配向した窒化チタン複合表面改質膜の性能評価

Performance Evaluation of (111) Preferred Oriented Titanium Nitride Duplex Coatings
著者 (5件):
資料名:
巻: 54  号:ページ: 209-216  発行年: 2009年03月15日 
JST資料番号: F0390A  ISSN: 0915-1168  CODEN: TORAEO  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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本研究では基材の窒化処理とイオンプレーティングによるTiN被覆を組み合わせた複合表面改質膜について成膜方法を検討し,被膜の機械的特性の改善をした。これにより得た主な知見を次に示した。1)HCD(ホローカソード放電)イオンプレーティングで,製膜面が常に蒸発源を向く方法をとることにより,(111)面に強く配向した被膜が得られやすくなること,2)しゅう動試験での被膜寿命は,(111)面と(200)面の回折強度比と相関関係があり,回折強度比の大きいものほど被膜寿命が長いこと,また回折強度比が100を超えるN-coatingは,スクラッチングを発生せずマイクロチッピングのみで摩耗が進行するため被膜寿命が約2倍に延長すること,3)回折強度比の増加に伴う損傷形態の変化は,破壊靭性の向上ならびに圧縮残留応力の増加により,複合改質膜のしゅう動面に生じるクラックの発生が抑制され,それを起点とするスクラッチングが生じ難くなるためであること。
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分類 (2件):
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気相めっき  ,  潤滑一般 
タイトルに関連する用語 (4件):
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