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J-GLOBAL ID：200902220140290957   整理番号：06A1028809

超精密微細加工の高品位安定化に関する研究(第2報)-高分解能多点デジタル温度計の開発-

著者 (6件)： 小口京吾 (長野県工業技術総合セ) ,  小林耕治 (長野県工業技術総合セ) ,  河部繁 (長野県工業技術総合セ) ,  黒河内靖子 (長野県工業技術総合セ) ,  山岸光 (長野県工業技術総合セ) ,  永谷聡 (長野県工業技術総合セ)
資料名： 長野県工業技術総合センター研究報告  (Research Reports of Nagano Prefecture General Industrial Technology Center)
号： 1  ページ： P18-P20  発行年： 2006年08月31日 
JST資料番号： Z0342C  ISSN： 1881-3119  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： これまでの研究から,超微細三次元加工機(ロボナノ)の形状精度...

シソーラス用語： *ナノメータ加工 ,...

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分類 (2件)： 温度測定,温度計  (AD06010K) ,  工作一般  (QC01010O)

引用文献 (3件)：

• (株) 芝浦電子. “高速応答微小サーミスタ”. THE TRMISTOR ELEMENT, JW299.2001, p1-8.
• Analog Devices Inc. “CIRCUIT DESCRIPTION”. CMOS Signal Conditioning ADC, AD7714.1998, p19-p20.
• (株) 日立製作所, “I/Oポート”. H8/3048F-ONEハードウェアマニュアル, ADJ-602-331.2002, p1.1-p13, 20.

タイトルに関連する用語 (9件)： 超精密 ,  微細加工 ,  高品位 ,  安定化 ,  研究 ,  高分解能 ,  デジタル ,  温度計 ,  開発