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J-GLOBAL ID：200902220201734454   整理番号：05A1019115

異方性エッチングによるシリコンマイクロ多刃工具の開発(第1報)-工具の作製設計システムの構築-

Development of Silicon Micro Multi-edged Tool Using Anisotropic Etching (1st Report)-Construction of Design System for Fabricating the Silicon Micro Multi-edged Tool-

著者 (5件)： 山口智実 (関西大 工) ,  樋口誠宏 (関西大 工) ,  島田尚一 (大阪電通大 工) ,  加藤慎也 (関西大 大学院) ,  浅井邦彦 (関西大 大学院)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 70  号： 9  ページ： 1196-1200  発行年： 2004年09月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 微細加工を可能にする小型工作機械が実現されているが,更に小型...

シソーラス用語： *マイクロマシン ,...
準シソーラス用語： マイクロ工作機械 ,...

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分類 (1件)： 切削一般  (QC02010V)

引用文献 (16件)：

• 産業技術総合研 機械システム研究部門. ポータブル機械加工マイクロファクトリ. マイクロファブリケーション研究の最新動向. 2003, 12, 32
• 森田昇. 「加工機械」と「機械加工」のマイクロ化技術. 電気加工学会誌. 2003, 37, 85, 5
• 北原時雄. 専門委員会・分科会研究レビュー 加工機械のマイクロ化分科会 実用化が進むマイクロ工作機械. 精密工学会誌. 2003, 69, 8, 1074
• GAHLIN, R. The particle size effect in abrasion studied by controlled abrasive surfaces. Wear. 1999, 224, 118
• 梅原徳次. 均一に配列させたマイクロ多刃工具による仕上げ加工の可能性-異方性エッチングによるマイクロ多刃工具からMAGIC砥石へ-. 砥粒加工学会誌. 2001, 45, 6, 283

タイトルに関連する用語 (9件)： 異方性エッチング ,  シリコン ,  マイクロ ,  多刃工具 ,  開発 ,  工具 ,  作製 ,  設計システム ,  構築