CO<sub>2</sub>レーザ照射でのエーロゾル堆積によるステンレスシート上に直接堆積されたPb(Zr,Ti)O<sub>3</sub>厚膜の損傷のない短時間焼なまし

BABA So; AKEDO Jun

文献

J-GLOBAL ID：200902220978329332 整理番号：05A0585267

CO₂レーザ照射でのエーロゾル堆積によるステンレスシート上に直接堆積されたPb(Zr,Ti)O₃厚膜の損傷のない短時間焼なまし

Damage-Free and Short Annealing of Pb(Zr,Ti)O₃ Thick Films Directly Deposited on Stainless Steel Sheet by Aerosol Deposition with CO₂ Laser Radiation

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巻： 88 号： 6 ページ： 1407-1410 発行年： 2005年06月
JST資料番号： C0253A ISSN： 0002-7820 CODEN： JACTAW 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

ステンレス鋼(SS)シート上に,エーロゾル堆積法(ADM)を...

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酸化物薄膜 , 誘電体一般

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CO2レーザ照射でのエーロゾル堆積によるステンレスシート上に直接堆積されたPb(Zr,Ti)O3厚膜の損傷のない短時間焼なまし

CO₂レーザ照射でのエーロゾル堆積によるステンレスシート上に直接堆積されたPb(Zr,Ti)O₃厚膜の損傷のない短時間焼なまし