BCN/CN/BN多層膜のナノ機械的性質

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J-GLOBAL ID：200902221170430113 整理番号：07A0381172

Nano-mechanical properties of BCN/CN/BN multilayer films

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資料名：
巻： 16 号： 4-7 ページ： 1441-1444 発行年： 2007年04月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

BCN/CN/BN多層膜に基づく硬質膜をSi基板上に二重イオ...

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その他の無機化合物の薄膜

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