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J-GLOBAL ID：200902221170430113   整理番号：07A0381172

BCN/CN/BN多層膜のナノ機械的性質

Nano-mechanical properties of BCN/CN/BN multilayer films
著者 (4件)：
MORANT C.

MORANT C. について

(Departamento de Fisica Aplicada, Universidad Autonoma de Madrid, 28049 Cantoblanco, Madrid, ESP)

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CACERES D.

CACERES D. について

(Departamento de Fisica Aplicada, Universidad Autonoma de Madrid, 28049 Cantoblanco, Madrid, ESP)

Departamento de Fisica Aplicada, Universidad Autonoma de Madrid, 28049 Cantoblanco, Madrid, ESP について

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SANZ J.m.

SANZ J.m. について

(Departamento de Fisica Aplicada, Universidad Autonoma de Madrid, 28049 Cantoblanco, Madrid, ESP)

Departamento de Fisica Aplicada, Universidad Autonoma de Madrid, 28049 Cantoblanco, Madrid, ESP について

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ELIZALDE E.

ELIZALDE E. について

(Departamento de Fisica Aplicada, Universidad Autonoma de Madrid, 28049 Cantoblanco, Madrid, ESP)

Departamento de Fisica Aplicada, Universidad Autonoma de Madrid, 28049 Cantoblanco, Madrid, ESP について


資料名：
Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)

Diamond and Related Materials について


巻： 16  号： 4-7  ページ： 1441-1444  発行年： 2007年04月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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BCN/CN/BN多層膜に基づく硬質膜をSi基板上に二重イオ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*ホウ素化合物

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準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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炭窒化物

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分類 (1件)：
分類
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その他の無機化合物の薄膜 
(BK14060A)

その他の無機化合物の薄膜 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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Cn

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BN

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多層膜

多層膜 について

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機械的性質

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