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J-GLOBAL ID：200902221191990747   整理番号：04A0862917

整流型クリーンルームにおける気流解析に関する研究(その6)

Development of preventive method of corner area locally contaminated by particles around manufacturing tools (Part 6)

著者 (6件)： 舌間則文 (福井工大) ,  浅田敏勝 (福井工大) ,  牧野貴文 (福井工大) ,  堀敦旨 (福井工大) ,  笠谷祥之 (三宝電機) ,  仁木隆志 (ニッタ)
資料名： 空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集  (空気清浄とコンタミネーションコントロール研究に関する技術研究大会予稿集)
巻： 22nd  ページ： 188-191  発行年： 2004年 
JST資料番号： Y0789A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： クリーンルームでは近年,従来の粒子汚染以外にガス状汚染物質,...

シソーラス用語： *クリーンルーム ,...
準シソーラス用語： モバイルFFU ,...

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分類 (2件)： 空気浄化  (PC02060X) ,  建築環境一般  (RB02010T)

タイトルに関連する用語 (4件)： 整流 ,  クリーンルーム ,  気流解析 ,  研究