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J-GLOBAL ID：200902221738621032   整理番号：06A0196650

有機金属蒸着法により蒸着したランタンニッケル酸化物薄膜の微細構造と電気的性質

Microstructure and electrical properties of lanthanum nickel oxide thin films deposited by metallo-organic decomposition method

著者 (3件)： WANG Zhan Jie (Dep. of Materials Processing, Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., Aoba-yama 6-6-02, Sendai 980-8579, JPN) ,  KUMAGAI Toshihide (Dep. of Materials Processing, Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., Aoba-yama 6-6-02, Sendai 980-8579, JPN) ,  KOKAWA Hiroyuki (Dep. of Materials Processing, Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., Aoba-yama 6-6-02, Sendai 980-8579, JPN)
資料名： Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)
巻： 290  号： 1  ページ： 161-165  発行年： 2006年04月15日 
JST資料番号： B0942A  ISSN： 0022-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 有機金属分解法によりSiO₂/Si基板...

シソーラス用語： *MOCVD ,...

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  その他の無機化合物の電気伝導  (BM03044O)

タイトルに関連する用語 (7件)： 有機金属 ,  蒸着 ,  ランタン ,  ニッケル ,  酸化物薄膜 ,  微細構造 ,  電気的性質