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J-GLOBAL ID：200902221862411739   整理番号：05A0678107

マイクロ波応用のためのRFマグネトロンスパッタリングにより調製されたMgTiO₃薄膜の性質

Properties of MgTiO₃ thin films prepared by RF magnetron sputtering for microwave application

著者 (2件)： CHEN Yuan-bin (Dep. of Electrical Engineering, National Cheng Kung Univ., 1 Univ. Rd., Tainan 70101, Taiwan) ,  HUANG Cheng-liang (Dep. of Electrical Engineering, National Cheng Kung Univ., 1 Univ. Rd., Tainan 70101, Taiwan)
資料名： Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)
巻： 282  号： 3-4  ページ： 482-489  発行年： 2005年09月01日 
JST資料番号： B0942A  ISSN： 0022-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MgTiO₃膜の結晶構造および誘電体特...

シソーラス用語： スパッタ蒸着 ,...

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  誘電体一般  (BM05010F)

タイトルに関連する用語 (6件)： マイクロ波 ,  応用 ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  調製 ,  薄膜 ,  性質