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J-GLOBAL ID：200902221963134124   整理番号：05A1040262

ガス溶解に伴う三相接触線のミクロ液膜構造とマランゴニ流の解明

Elucidation of marangoni flow and micro liquid films structure in contact line with the gas dissolution

著者 (4件)： 宮本泰治 (芝浦工大 大学院) ,  永井裕明 (芝浦工大 大学院) ,  鴨志田隼司 (芝浦工大) ,  鈴木健二郎 (芝浦工大)
資料名： 日本機械学会熱工学コンファレンス講演論文集  (Proceedings of Thermal Engineering Conference)
巻： 2005  ページ： 229-230  発行年： 2005年11月02日 
JST資料番号： L0417A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ガス溶解に伴う固体,気相,液相からなる三相接触線において,そ...

シソーラス用語： *半導体工業 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： イソプロパノール

タイトルに関連する用語 (5件)： ガス溶解 ,  三相 ,  接触線 ,  液膜 ,  マランゴニ流